上海集成电路材料研究院合成实验室正式启用

2023-04-25

2月6日上午，上海集成电路材料研究院（“集材院”）在上海化学工业区投资建设的集成电路材料合成实验室正式启用，这既是上海电子化学品专区加快打造自主创新平台的重要组成部分，也是上海国际化工新材料创新中心重点引入的研发试验机构之一，成为上海化工区加速创新驱动、促进产业链与创新链融合发展的又一重要里程碑。

2020年以来，集材院主动对接国家战略和上海集成电路等先导产业发展需求，积极参与上海电子化学品专区建设，并以协同创新发展为纽带，助力自主创新，取得显著成效。

面向集成电路材料企业在性能测试与研发验证等方面的共性诉求，集材院于2022年1月在电子化学品专区注册成立全资子公司上海集材微电子材料技术有限公司，落户上海国际化工新材料创新中心。注册资本3000万元，一期项目建设总投入1.5亿元，总建筑面积近2100㎡。

该平台建成合成实验室、放大实验室、纯化及罐装实验室、分析实验室等专业实验室，可开发化学合成技术、合成结构精准可控的集成电路材料，探索放大工艺、制备公斤级集成电路材料，并开发原料纯化技术、制备ppb、ppt级金杂含量的集成电路材料。分析实验室可提供全面、系统性的集成电路材料测试表征分析，并将逐步建立起集成电路材料分析测试及操作规范的行业标准。同时，分析实验室服务能力向专区内企业共享开放。

附：

上海集成电路材料研究院由新微科技集团和上海硅产业集团发起成立，聚焦集成电路衬底材料、工艺材料和前沿技术的研发与产业化。